Boortrichloride (BCl3)Een anorganische verbinding die veel wordt gebruikt in droogets- en chemische dampdepositieprocessen (CVD) in de halfgeleiderproductie. Het is een kleurloos gas met een sterke, scherpe geur bij kamertemperatuur en is gevoelig voor vochtige lucht omdat het hydrolyseert tot zoutzuur en boorzuur.

Toepassingen van boortrichloride

In de halfgeleiderindustrie,BoortrichlorideWordt voornamelijk gebruikt voor het droog etsen van aluminium en als dopant voor het vormen van P-type gebieden op siliciumwafers. Het kan ook worden gebruikt voor het etsen van materialen zoals GaAs, Si en AlN, en als boorbron in bepaalde specifieke toepassingen. Daarnaast wordt boortrichloride veel gebruikt in de metaalbewerking, de glasindustrie, chemische analyse en laboratoriumonderzoek.

Veiligheid van boortrichloride

Boortrichlorideis bijtend en giftig en kan ernstige schade aan ogen en huid veroorzaken. Het hydrolyseert in vochtige lucht en produceert giftig waterstofchloridegas. Daarom moeten passende veiligheidsmaatregelen worden genomen bij het hanteren ervan.Boortrichloride, waaronder het dragen van beschermende kleding, een veiligheidsbril en ademhalingsbescherming, en het werken in een goed geventileerde omgeving.