Boor trichloride (Bcl3)is een anorganische verbinding die vaak wordt gebruikt bij droge etsen en chemische dampafzetting (CVD) processen in de productie van halfgeleiders. Het is een kleurloos gas met een sterke scherpe geur bij kamertemperatuur en is gevoelig voor vochtige lucht omdat het hydrolyseert om zoutzuur en boorzuur te produceren.

Toepassingen van boortrichloride

In de halfgeleiderindustrie,Boor trichloridewordt voornamelijk gebruikt voor droog etsen van aluminium en als een dopant om P-type gebieden op siliciumwafels te vormen. Het kan ook worden gebruikt om materialen zoals GaAs, Si, ALN en als een boorbron in bepaalde specifieke toepassingen te etsen. Bovendien wordt boortrichloride veel gebruikt bij metaalverwerking, glasindustrie, chemische analyse en laboratoriumonderzoek.

Veiligheid van boor trichloride

Boor trichlorideis corrosief en giftig en kan ernstige schade aan de ogen en huid veroorzaken. Het hydrolyseert in vochtige lucht om giftig waterstofchloridegas af te geven. Daarom moeten passende veiligheidsmaatregelen worden genomen bij het hanterenBoor trichloride, inclusief het dragen van beschermende kleding, bril en ademhalingsbeveiligingsapparatuur, en werken in een goed geventileerde omgeving.