Boortrichloride (BCl3)Het is een anorganische verbinding die veelvuldig wordt gebruikt bij droogetsen en chemische dampafzetting (CVD) in de halfgeleiderindustrie. Het is een kleurloos gas met een sterke, penetrante geur bij kamertemperatuur en is gevoelig voor vochtige lucht omdat het hydrolyseert tot zoutzuur en boorzuur.

Toepassingen van boortrichloride

In de halfgeleiderindustrie,BoortrichlorideHet wordt voornamelijk gebruikt voor het droog etsen van aluminium en als doteringsmiddel om P-type gebieden op siliciumwafers te vormen. Het kan ook worden gebruikt voor het etsen van materialen zoals GaAs, Si en AlN, en als boorbron in bepaalde specifieke toepassingen. Daarnaast wordt boortrichloride veelvuldig gebruikt in de metaalbewerking, de glasindustrie, chemische analyse en laboratoriumonderzoek.

Veiligheid van boortrichloride

BoortrichlorideHet is corrosief en giftig en kan ernstige schade aan ogen en huid veroorzaken. In vochtige lucht hydrolyseert het en komt daarbij giftig waterstofchloridegas vrij. Daarom moeten passende veiligheidsmaatregelen worden genomen bij het hanteren ervan.Boortrichloridewaaronder het dragen van beschermende kleding, een veiligheidsbril en ademhalingsbescherming, en het werken in een goed geventileerde omgeving.