Lasergas wordt voornamelijk gebruikt voor lasergloeien en lithografie in de elektronica-industrie. Dankzij de innovatie van mobiele telefoonschermen en de uitbreiding van toepassingsgebieden zal de markt voor laagtemperatuurpolysilicium verder groeien, en het lasergloeien heeft de prestaties van TFT's aanzienlijk verbeterd. Van de neon-, fluor- en argongassen die in de ArF-excimerlaser voor de productie van halfgeleiders worden gebruikt, is neon goed voor meer dan 96% van het lasergasmengsel. Met de verfijning van de halfgeleidertechnologie is het gebruik van excimerlasers toegenomen, en de introductie van dubbele belichtingstechnologie heeft geleid tot een sterke stijging van de vraag naar neongas voor ArF-excimerlasers. Dankzij de bevordering van de lokale productie van speciale elektronicagassen zullen binnenlandse fabrikanten in de toekomst betere groeimogelijkheden op de markt hebben.
De lithografiemachine is de kernapparatuur van de halfgeleiderproductie. Lithografie bepaalt de grootte van transistors. De gecoördineerde ontwikkeling van de gehele lithografieketen is cruciaal voor de doorbraak van de lithografiemachine. De bijbehorende halfgeleidermaterialen, zoals fotolak, fotolithografiegas, fotomasker en coating- en ontwikkelapparatuur, hebben een hoge technologische waarde. Lithografiegas is het gas dat de lithografiemachine gebruikt om een diep-ultraviolette laser te genereren. Verschillende lithografiegassen produceren lichtbronnen met verschillende golflengten, en deze golflengte heeft direct invloed op de resolutie van de lithografiemachine. Dit is een van de kernaspecten van de lithografiemachine. In 2020 bedroeg de wereldwijde verkoop van lithografiemachines 413 eenheden, waarvan ASML (258 eenheden, goed voor 62%), Canon (122 eenheden, goed voor 30%) en Nikon (33 eenheden, goed voor 8%).
Geplaatst op: 15 oktober 2021
