Lasergas

Lasergas wordt voornamelijk gebruikt voor lasergloeien en lithografiegas in de elektronica-industrie. Profiterend van de innovatie van mobiele telefoonschermen en de uitbreiding van toepassingsgebieden, zal de schaal van de lagetemperatuurpolysiliciummarkt verder worden uitgebreid en heeft het lasergloeien de prestaties van TFT's aanzienlijk verbeterd. Van de neon-, fluor- en argongassen die worden gebruikt in de ArF-excimeerlaser voor de productie van halfgeleiders, vertegenwoordigt neon meer dan 96% van het lasergasmengsel. Met de verfijning van de halfgeleidertechnologie is het gebruik van excimeerlasers toegenomen en heeft de introductie van dubbele belichtingstechnologie geleid tot een sterke toename van de vraag naar neongas dat wordt verbruikt door ArF-excimeerlasers. Door de bevordering van de lokalisatie van elektronische speciaalgassen zullen binnenlandse fabrikanten in de toekomst een betere marktgroeiruimte hebben.

Lithografiemachines vormen de kernapparatuur van de halfgeleiderproductie. Lithografie bepaalt de grootte van transistors. De gecoördineerde ontwikkeling van de lithografie-industrieketen is de sleutel tot de doorbraak van lithografiemachines. De bijbehorende halfgeleidermaterialen zoals fotoresist, fotolithografiegas, fotomasker en coating- en ontwikkelapparatuur hebben een hoog technologisch gehalte. Lithografiegas is het gas dat de lithografiemachine een diep-ultraviolet laser genereert. Verschillende lithografiegassen kunnen lichtbronnen met verschillende golflengtes produceren, en hun golflengte beïnvloedt direct de resolutie van de lithografiemachine, die een van de kernen van de lithografiemachine vormt. In 2020 zal de totale wereldwijde verkoop van lithografiemachines 413 eenheden bedragen, waarvan ASML 258 eenheden goed is voor 62%, Canon 122 eenheden goed voor 30% en Nikon 33 eenheden goed voor 8%.