WaterstofchlorideWaterstofchloride is een kleurloos gas met een scherpe geur. De waterige oplossing ervan wordt zoutzuur genoemd. Waterstofchloride is zeer goed oplosbaar in water. Bij 0 °C kan 1 volume water ongeveer 500 volumes waterstofchloride oplossen.

Het heeft de volgende eigenschappen en kenmerken:

1. Hoge zuiverheid

De zuiverheid van elektronische kwaliteitwaterstofchlorideHet gehalte is zeer hoog, meestal op ppm-niveau of lager, om ervoor te zorgen dat er geen onzuiverheden in het halfgeleiderproductieproces terechtkomen.

2. Inertheid

Het is een chemisch inert gas dat niet reageert met veel andere stoffen, wat erg belangrijk is om besmetting van halfgeleidermaterialen en -apparatuur te voorkomen.

3. Hoge stabiliteit

Elektronische kwaliteitwaterstofchlorideHet materiaal heeft over het algemeen een stabiele chemische samenstelling, wat een betrouwbare verwerking van halfgeleiders garandeert.

In de halfgeleiderverwerking zijn de belangrijkste toepassingen van waterstofchloride van elektronische kwaliteit onder andere:

1. Reiniging en voorbereiding van het oppervlak

Als efficiënte oppervlaktereiniger, geschikt voor elektronische apparaten.waterstofchlorideHet wordt gebruikt om oxiden en onzuiverheden van het substraatoppervlak te verwijderen, om zo de kwaliteit en zuiverheid van de epitaxiale laag of film te waarborgen.

2. Epitaxiale groeibevorderaar

Het wordt gebruikt als oppervlaktebehandelingsmiddel in het epitaxiale proces en helpt de kwaliteit van de epitaxiale laag te verbeteren, de roosterovereenkomst te verbeteren en de vorming van roosterdefecten te verminderen.

3. Substraatvoorbehandeling

Voordat halfgeleidercomponenten worden vervaardigd, is een elektronische kwaliteit vereist.waterstofchlorideHet kan worden gebruikt om het substraatoppervlak te behandelen en zo een stabiele basis te vormen die de hechting tussen de epitaxiale laag en het substraat verbetert.

4. Afzettingshulpstof

Bij chemische dampafzetting (CVD) of fysische dampafzetting (PVD) kan waterstofchloride van elektronische kwaliteit worden gebruikt als gasvormig overdrachtsmedium om deel te nemen aan de afzettingsreactie van halfgeleidermaterialen.

5. Gasfase-overdrachtsmiddel

Als gasvormig overdrachtsmiddel worden andere gasvormige voorlopers in de reactiekamer gebracht om de afzettingssnelheid en de uniformiteit van het materiaal te reguleren.

Deze eigenschappen maken elektronische kwaliteitwaterstofchlorideEen belangrijk verwerkingsmiddel in de halfgeleidertechnologie, dat een cruciale invloed heeft op de prestaties en betrouwbaarheid van het uiteindelijke apparaat.

Naast het gebruik in de halfgeleiderverwerking kan waterstofchloride van elektronische kwaliteit op diverse andere gebieden worden toegepast, waaronder: de bereiding van zeer zuivere materialen, brandstofcellen, de groei van halfgeleidermaterialen, dampfaselithografie, materiaalanalyse en chemisch onderzoek.

Over het algemeen geldt dit voor elektronische apparaten.waterstofchlorideHet is een veelzijdig gas met een hoge zuiverheid dat een breed scala aan toepassingen heeft buiten de halfgeleiderindustrie.