Waterstofchlorideis een kleurloos gas met een scherpe geur. De waterige oplossing wordt zoutzuur genoemd, ook bekend als zoutzuur. Waterstofchloride is zeer oplosbaar in water. Bij 0 ° C kan 1 volume water ongeveer 500 volumes waterstofchloride oplossen.

Het heeft de volgende eigenschappen en kenmerken:

1. Hoge zuiverheid

De zuiverheid van elektronische kwaliteitwaterstofchlorideis erg hoog, meestal op PPM of lager niveau, om ervoor te zorgen dat er geen onzuiverheden worden geïntroduceerd in het productieproces van halfgeleiders.

2. Inertheid

Het is een chemisch inert gas dat niet reageert met veel andere stoffen, wat erg belangrijk is om verontreiniging van halfgeleidermaterialen en -apparatuur te voorkomen.

3. Hoge stabiliteit

Elektronische kwaliteitwaterstofchlorideOver het algemeen heeft een stabiele chemie om een ​​betrouwbare halfgeleiderverwerking te garanderen.

In halfgeleiderverwerking omvatten de belangrijkste toepassingen van waterstofchloride van elektronische kwaliteit:

1. Oppervlaktereiniging en voorbereiding

Als een efficiënte oppervlaktereiniger, elektronische graadwaterstofchloridewordt gebruikt om oxiden en onzuiverheden van het substraatoppervlak te verwijderen om de kwaliteit en zuiverheid van de epitaxiale laag of film te waarborgen.

2. Epitaxiale groeihulp

Gebruikt als een oppervlaktebehandelingsmiddel in het epitaxiale proces, helpt het om de kwaliteit van de epitaxiale laag te verbeteren, de rooster matching te verbeteren en de vorming van roosterdefecten te verminderen.

3. Substraat voorbehandeling

Voor de voorbereiding van halfgeleiderapparaten, elektronische kwaliteitwaterstofchlorideKan worden gebruikt om het substraatoppervlak te behandelen om een ​​stabiele basis te vormen om de hechting tussen de epitaxiale laag en het substraat te verbeteren.

4. Depositie Auxiliary Agent

In het proces van chemische dampafzetting (CVD) of fysische dampafzetting (PVD) kan elektronische graad waterstofchloride worden gebruikt als een gasfaseoverdrachtsmedium om deel te nemen aan de afzettingsreactie van halfgeleidermaterialen.

5. Gasfase-overdrachtsmiddel

Als een gasfase-overdrachtsmiddel worden andere gasvormige voorlopers in de reactiekamer geïntroduceerd om de afzettingssnelheid en de uniformiteit van het materiaal aan te passen.

Deze kenmerken maken een elektronische cijferwaterstofchlorideEen belangrijke verwerkingsagent in halfgeleidertechnologie, die een belangrijke invloed heeft op de prestaties en betrouwbaarheid van het uiteindelijke apparaat.

Naast het gebruik ervan bij het verwerking van halfgeleiders, kan waterstofchloride van elektronische kwaliteit een verscheidenheid aan toepassingen vinden in andere gebieden, waaronder: bereiding van materialen met hoge zuiverheid, brandstofcellen, halfgeleider -materiaalgroei, lithografie van dampfase, materiaalanalyse, chemisch onderzoek.

Over het algemeen, elektronische kwaliteitwaterstofchlorideis een veelzijdig, hoog zuivere gas met een breed scala aan toepassingen buiten de productie van halfgeleiders.