Waterstofchlorideis een kleurloos gas met een scherpe geur. De waterige oplossing ervan heet zoutzuur. Waterstofchloride is zeer goed oplosbaar in water. Bij 0 °C kan 1 volume water ongeveer 500 volumes waterstofchloride oplossen.

Het heeft de volgende eigenschappen en kenmerken:

1. Hoge zuiverheid

De zuiverheid van elektronische kwaliteitwaterstofchlorideis zeer hoog, gewoonlijk op ppm-niveau of lager, om ervoor te zorgen dat er geen onzuiverheden in het halfgeleiderproductieproces terechtkomen.

2. Inertie

Het is een chemisch inert gas dat niet met veel andere stoffen reageert, wat van groot belang is om verontreiniging van halfgeleidermaterialen en -apparatuur te voorkomen.

3. Hoge stabiliteit

Elektronische kwaliteitwaterstofchlorideheeft over het algemeen een stabiele chemie om betrouwbare halfgeleiderverwerking te garanderen.

De belangrijkste toepassingen van waterstofchloride voor elektronische toepassingen in de halfgeleiderverwerking zijn:

1. Oppervlaktereiniging en -voorbereiding

Als efficiënte oppervlaktereiniger, elektronische kwaliteitwaterstofchloridewordt gebruikt om oxiden en onzuiverheden van het substraatoppervlak te verwijderen om de kwaliteit en zuiverheid van de epitaxiale laag of film te garanderen.

2. Epitaxiale groeihulp

Het wordt gebruikt als oppervlaktebehandelingsmiddel in het epitaxiale proces en helpt de kwaliteit van de epitaxiale laag te verbeteren, de roosterafstemming te verbeteren en de vorming van roosterdefecten te verminderen.

3. Substraatvoorbehandeling

Vóór de voorbereiding van halfgeleiderapparaten, elektronische kwaliteitwaterstofchloridekan worden gebruikt om het substraatoppervlak te behandelen om een ​​stabiele basis te vormen en zo de hechting tussen de epitaxiale laag en het substraat te verbeteren.

4. Hulpmiddel voor depositie

Bij het proces van chemische dampafzetting (CVD) of fysische dampafzetting (PVD) kan waterstofchloride van elektronische kwaliteit worden gebruikt als gasfaseoverdrachtsmedium om deel te nemen aan de afzettingsreactie van halfgeleidermaterialen.

5. Gasfase-overdrachtsmiddel

Als gasfaseoverdrachtsmiddel worden andere gasvormige precursoren in de reactiekamer geïntroduceerd om de afzettingssnelheid en de uniformiteit van het materiaal te helpen regelen.

Deze eigenschappen maken elektronische apparaten van hoge kwaliteitwaterstofchlorideeen belangrijk verwerkingsmiddel in de halfgeleidertechnologie, dat een belangrijke impact heeft op de prestaties en betrouwbaarheid van het uiteindelijke apparaat.

Naast de toepassing in de halfgeleiderverwerking kan waterstofchloride van elektronische kwaliteit ook op andere gebieden worden gebruikt, waaronder: bereiding van materialen met een hoge zuiverheid, brandstofcellen, groei van halfgeleidermaterialen, dampfaselithografie, materiaalanalyse en chemisch onderzoek.

Over het algemeen is elektronische kwaliteitwaterstofchlorideis een veelzijdig, zeer zuiver gas dat een breed scala aan toepassingen kent buiten de halfgeleiderproductie.