In 2018 bereikte de mondiale elektronische gasmarkt voor geïntegreerde schakelingen 4,512 miljard dollar, een stijging op jaarbasis van 16%. Het hoge groeitempo van de elektronische speciale gasindustrie voor halfgeleiders en de enorme marktomvang hebben het binnenlandse vervangingsplan voor elektronisch speciaal gas versneld!
Wat is elektronengas?
Elektronisch gas verwijst naar het basismateriaal dat wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders, platte beeldschermen, lichtgevende diodes, zonnecellen en andere elektronische producten, en wordt veel gebruikt bij het reinigen, etsen, filmvorming, doping en andere processen. De belangrijkste toepassingsgebieden van elektronisch gas zijn onder meer de elektronica-industrie, zonnecellen, mobiele communicatie, autonavigatie en auto-audio- en videosystemen, lucht- en ruimtevaart, militaire industrie en vele andere gebieden.
Speciaal elektronisch gas kan worden onderverdeeld in zeven categorieën op basis van zijn eigen chemische samenstelling: silicium, arseen, fosfor, boor, metaalhydride, halogenide en metaalalkoxide. Volgens verschillende toepassingsmethoden in geïntegreerde schakelingen kan het worden onderverdeeld in dopinggas, epitaxiegas, ionenimplantatiegas, lichtgevend diodegas, etsgas, chemisch dampafzettingsgas en balansgas. Er worden meer dan 110 speciale gassen gebruikt in de halfgeleiderindustrie, waarvan er meer dan 30 algemeen worden gebruikt.
Over het algemeen verdeelt de halfgeleiderproductie-industrie gassen in twee soorten: gewone gassen en speciale gassen. Onder hen verwijst het algemeen gebruikte gas naar een gecentraliseerde toevoer en gebruikt het veel gas, zoals N2, H2, O2, Ar, He, enz. Speciaal gas verwijst naar enkele chemische gassen die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders, zoals uitbreiding, ioneninjectie, vermenging, wassen en maskervorming, wat we nu elektronisch speciaal gas noemen, zoals hoogzuiver SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, enz.
In het hele productieproces van de halfgeleiderindustrie, van de chipgroei tot de uiteindelijke verpakking van het apparaat, is bijna elke schakel onlosmakelijk verbonden met speciaal elektronisch gas, de verscheidenheid aan gebruikte gassen en hoge kwaliteitseisen, dus elektronisch gas heeft halfgeleidermaterialen. "Voedsel".
De afgelopen jaren is de nieuwe productiecapaciteit van China's belangrijkste elektronische componenten, zoals halfgeleiders en beeldschermpanelen, toegenomen, en er is een sterke vraag naar importvervanging van elektronische chemische materialen. De positie van elektronische gassen in de halfgeleiderindustrie is steeds prominenter geworden. De binnenlandse elektronische gasindustrie zal een snelle groei inluiden.
Elektronisch speciaal gas stelt zeer hoge eisen aan de zuiverheid, omdat als de zuiverheid niet aan de eisen voldoet, de onzuiverheidsgroepen zoals waterdamp en zuurstof in het elektronische speciale gas gemakkelijk een oxidefilm op het oppervlak van de halfgeleider zullen vormen, wat de werking beïnvloedt. levensduur van elektronische apparaten, en het elektronische speciale gas bevat. De deeltjes van onzuiverheden kunnen halfgeleiderkortsluitingen en circuitschade veroorzaken. Er kan worden gezegd dat de verbetering van de zuiverheid een cruciale rol speelt in de opbrengst en prestaties van de productie van elektronische apparaten.
Met de voortdurende ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie blijft het productieproces van chips verbeteren, en nu heeft het 5 nm bereikt, wat op het punt staat de limiet van de wet van Moore te naderen, wat overeenkomt met een twintigste van de diameter van een mensenhaar ( ongeveer 0,1 mm). Dit stelt daarom ook hogere eisen aan de zuiverheid van het elektronische speciale gas dat door halfgeleiders wordt geproduceerd.
Posttijd: 15-dec-2021
