In 2018 bereikte de wereldwijde markt voor elektronisch gas voor geïntegreerde schakelingen een waarde van 4,512 miljard dollar, een jaar-op-jaar stijging van 16%. De hoge groei van de elektronische speciaalgasindustrie voor halfgeleiders en de enorme omvang van de markt hebben de binnenlandse vervanging van elektronisch speciaalgas versneld!
Wat is elektronengas?
Elektronisch gas verwijst naar het basismateriaal dat wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders, platte beeldschermen, lichtgevende diodes, zonnecellen en andere elektronische producten. Het wordt veel gebruikt bij reinigings-, ets-, filmvormings-, doterings- en andere processen. De belangrijkste toepassingsgebieden van elektronisch gas zijn de elektronica-industrie, zonnecellen, mobiele communicatie, autonavigatie en audio- en videosystemen, de lucht- en ruimtevaart, de militaire industrie en vele andere sectoren.
Speciaal elektronisch gas kan worden onderverdeeld in zeven categorieën op basis van de chemische samenstelling: silicium, arseen, fosfor, boor, metaalhydride, halide en metaalalkoxide. Afhankelijk van de toepassingsmethoden in geïntegreerde schakelingen kan het worden onderverdeeld in doteringsgas, epitaxiegas, ionenimplantatiegas, lichtgevende diodegas, etsgas, chemische dampdepositiegas en balanceergas. Er worden meer dan 110 speciale gassen gebruikt in de halfgeleiderindustrie, waarvan er meer dan 30 algemeen worden gebruikt.
Over het algemeen verdeelt de halfgeleiderproductie-industrie gassen in twee soorten: gewone gassen en speciale gassen. Het meest gebruikte gas verwijst naar een gecentraliseerde toevoer en gebruikt veel gas, zoals N2, H2, O2, Ar, He, enz. Speciaal gas verwijst naar enkele chemische gassen die worden gebruikt in het proces van halfgeleiderproductie, zoals extensie, ioneninjectie, mengen, wassen en maskervorming. Dit is wat we nu elektronische speciale gassen noemen, zoals hoogzuiver SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, enz.
In het gehele productieproces van de halfgeleiderindustrie, van de chipontwikkeling tot de uiteindelijke verpakking van het apparaat, is bijna elke schakel onlosmakelijk verbonden met speciaal elektronisch gas. De verscheidenheid aan gebruikte gassen en de hoge kwaliteitseisen maken dat elektronisch gas halfgeleidermaterialen bevat. "Voedsel".
De afgelopen jaren is de productiecapaciteit van belangrijke elektronische componenten in China, zoals halfgeleiders en displaypanelen, toegenomen en is er een sterke vraag naar importvervanging van elektronische chemische materialen. De positie van elektronische gassen in de halfgeleiderindustrie is steeds prominenter geworden. De binnenlandse elektronischegasindustrie zal een snelle groei doormaken.
Elektronisch speciaal gas stelt zeer hoge eisen aan de zuiverheid. Als de zuiverheid niet aan de eisen voldoet, vormen de onzuiverheidsgroepen, zoals waterdamp en zuurstof, in het elektronische speciale gas gemakkelijk een oxidelaag op het oppervlak van de halfgeleider. Dit beïnvloedt de levensduur van elektronische apparaten. Bovendien bevat het elektronische speciale gas onzuiverheidsdeeltjes die kortsluiting en schade aan de halfgeleider kunnen veroorzaken. Verbetering van de zuiverheid speelt dan ook een cruciale rol in de opbrengst en prestaties van de productie van elektronische apparaten.
Met de voortdurende ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie blijft het chipproductieproces verbeteren en heeft het nu 5 nm bereikt, wat bijna de grens van de Wet van Moore nadert, die overeenkomt met een twintigste van de diameter van een menselijke haar (ongeveer 0,1 mm). Dit stelt dan ook hogere eisen aan de zuiverheid van het speciale elektronische gas dat door halfgeleiders wordt geproduceerd.
Plaatsingstijd: 15-12-2021
