In 2018 bereikte de wereldwijde elektronische gasmarkt voor geïntegreerde circuits US $ 4,512 miljard, een stijging van 16%op jaarbasis. De hoge groeisnelheid van de elektronische speciale gasindustrie voor halfgeleiders en de enorme marktomvang heeft het binnenlandse vervangingsplan van elektronisch speciaal gas versneld!
Wat is elektronengas?
Elektronisch gas verwijst naar het basisbronmateriaal dat wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders, platte paneelschermen, lichtemitterende diodes, zonnecellen en andere elektronische producten, en wordt veel gebruikt bij het reinigen, etsen, filmvorming, doping en andere processen. De belangrijkste applicatiegebieden van elektronisch gas zijn de elektronica -industrie, zonnecellen, mobiele communicatie, autosavigatie en AUTO -audio- en videosystemen, ruimtevaart, militaire industrie en vele andere gebieden.
Elektronisch speciaal gas kan worden onderverdeeld in zeven categorieën volgens zijn eigen chemische samenstelling: silicium, arseen, fosfor, boor, metaalhydride, halide en metaalalkoxide. Volgens verschillende applicatiemethoden in geïntegreerde circuits kan het worden onderverdeeld in doping-gas, epitaxie-gas, ionimplantatiegas, licht-emitterende diodegas, etsengas, chemische dampafzettingsgas en balansgas. Er worden meer dan 110 unit speciale gassen gebruikt in de halfgeleiderindustrie, waarvan meer dan 30 vaak worden gebruikt.
Over het algemeen verdeelt de Semiconductor Production -industrie gassen in twee soorten: gemeenschappelijke gassen en speciale gassen. Among them, the commonly used gas refers to a centralized supply and uses a lot of gas, such as N2, H2, O2, Ar, He, etc. Special gas refers to some chemical gases used in the process of semiconductor production, such as extension, ion injection, blending, washing, and mask formation, which is what we now call electronic special gas, such as high-purity SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, etc.
In het gehele productieproces van de halfgeleiderindustrie, van chipgroei tot de uiteindelijke apparaatverpakking, is bijna elke link onafscheidelijk van elektronisch speciaal gas en de verscheidenheid aan gebruikte gas en hoogwaardige vereisten, dus elektronisch gas heeft halfgeleidermaterialen. "Voedsel".
In de afgelopen jaren zijn de belangrijkste elektronische componenten van China, zoals halfgeleiders en displaypanelen, toegenomen in de nieuwe productiecapaciteit, en er is een sterke vraag naar importvervanging van elektronische chemische materialen. De positie van elektronische gassen in de halfgeleiderindustrie is steeds prominenter geworden. De binnenlandse elektronische gasindustrie zal een snelle groei inluiden.
Elektronisch speciaal gas heeft een zeer hoge vereisten voor de zuiverheid, want als de zuiverheid niet aan de vereisten voldoet, zullen de onzuiverheidsgroepen zoals waterdamp en zuurstof in het elektronische speciale gas gemakkelijk oxidefilm vormen op het oppervlak van de halfgeleider van de halfgeleider, die de levensduur van elektronische apparaten van elektronische apparaten beïnvloedt, en de elektronische speciale gas bevat de deeltjes van onstoffen die semiconductieschade en circuitschade kunnen veroorzaken. Er kan worden gezegd dat de verbetering van de zuiverheid een cruciale rol speelt in de opbrengst en prestaties van de productie van elektronische apparaten.
Met de voortdurende ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie blijft het chipproductieproces verbeteren, en nu heeft het 5 Nm bereikt, wat op het punt staat de limiet van de wet van Moore te benaderen, die gelijkwaardig is aan een twintigste van de diameter van een menselijk haar (ongeveer 0,1 mm). Daarom stelt dit ook hogere vereisten voor de zuiverheid van het elektronische speciale gas geproduceerd door halfgeleiders.
Posttijd: december-15-2021
