In 2018 bereikte de wereldwijde markt voor elektronisch gas voor geïntegreerde schakelingen 4,512 miljard dollar, een jaar-op-jaar stijging van 16%.Het hoge groeitempo van de elektronische speciaalgasindustrie voor halfgeleiders en de enorme marktomvang hebben het binnenlandse vervangingsplan van elektronisch speciaal gas versneld!
Wat is elektronengas?
Elektronisch gas verwijst naar het basisbronmateriaal dat wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders, platte beeldschermen, lichtgevende diodes, zonnecellen en andere elektronische producten, en wordt veel gebruikt bij het reinigen, etsen, filmvorming, doping en andere processen.De belangrijkste toepassingsgebieden van elektronisch gas zijn de elektronica-industrie, zonnecellen, mobiele communicatie, autonavigatie en auto-audio- en videosystemen, lucht- en ruimtevaart, militaire industrie en vele andere gebieden.
Elektronisch speciaal gas kan worden onderverdeeld in zeven categorieën op basis van zijn eigen chemische samenstelling: silicium, arseen, fosfor, boor, metaalhydride, halogenide en metaalalkoxide.Volgens verschillende toepassingsmethoden in geïntegreerde schakelingen kan het worden onderverdeeld in dopinggas, epitaxiegas, ionenimplantatiegas, lichtdiodegas, etsgas, chemisch dampafzettingsgas en balansgas.Er worden meer dan 110 speciale gassen gebruikt in de halfgeleiderindustrie, waarvan er meer dan 30 algemeen worden gebruikt.
Over het algemeen verdeelt de halfgeleiderproductie-industrie gassen in twee soorten: gewone gassen en speciale gassen.Onder hen verwijst het veelgebruikte gas naar een gecentraliseerde toevoer en gebruikt het veel gas, zoals N2, H2, O2, Ar, He, enz. Speciaal gas verwijst naar sommige chemische gassen die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders, zoals zoals uitbreiding, ioneninjectie, mengen, wassen en maskervorming, wat we nu elektronisch speciaal gas noemen, zoals zeer zuiver SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HC1, Cl2, enz.
In het gehele productieproces van de halfgeleiderindustrie, van chipgroei tot de uiteindelijke verpakking van het apparaat, is bijna elke schakel onafscheidelijk van elektronisch speciaal gas, de verscheidenheid aan gebruikte gassen en hoge kwaliteitseisen, dus elektronisch gas heeft halfgeleidermaterialen."Voedsel".
In de afgelopen jaren zijn de belangrijkste elektronische componenten van China, zoals halfgeleiders en beeldschermpanelen, toegenomen in nieuwe productiecapaciteit en is er een sterke vraag naar importvervanging van elektronische chemische materialen.De positie van elektronische gassen in de halfgeleiderindustrie is steeds prominenter geworden.De binnenlandse elektronische gasindustrie zal een snelle groei inluiden.
Elektronisch speciaal gas heeft zeer hoge zuiverheidseisen, want als de zuiverheid niet aan de vereisten voldoet, zullen de onzuiverheidsgroepen zoals waterdamp en zuurstof in het elektronische speciale gas gemakkelijk een oxidefilm op het oppervlak van de halfgeleider vormen, wat de levensduur van elektronische apparaten, en de elektronische speciaal gas bevat De deeltjes van onzuiverheden kunnen halfgeleiderkortsluitingen en circuitschade veroorzaken.Er kan worden gezegd dat de verbetering van de zuiverheid een cruciale rol speelt in de opbrengst en prestaties van de productie van elektronische apparaten.
Met de voortdurende ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie blijft het chipproductieproces verbeteren en nu heeft het 5 nm bereikt, wat op het punt staat de limiet van de wet van Moore te naderen, wat overeenkomt met een twintigste van de diameter van een mensenhaar ( ongeveer 0,1 mm).Dit stelt daarom ook hogere eisen aan de zuiverheid van het door halfgeleiders geproduceerde elektronische speciale gas.
Posttijd: 15 december 2021
