Veelvoorkomende fluorhoudende speciale elektronische gassen zijn onder andere:zwavelhexafluoride (SF6), wolfraamhexafluoride (WF6),koolstoftetrafluoride (CF4), trifluormethaan (CHF3), stikstoftrifluoride (NF3), hexafluorethaan (C2F6) en octafluorpropaan (C3F8).
Met de ontwikkeling van nanotechnologie en de grootschalige groei van de elektronica-industrie zal de vraag ernaar dagelijks toenemen. Stikstoftrifluoride, als onmisbaar en meestgebruikt speciaal gas in de elektronische industrie bij de productie en verwerking van panelen en halfgeleiders, heeft een brede markt.
Als een soort fluorhoudend speciaal gas,stikstoftrifluoride (NF3)Stikstoftrifluoride is het elektronische speciale gasproduct met de grootste marktpotentie. Het is chemisch inert bij kamertemperatuur, actiever dan zuurstof bij hoge temperaturen, stabieler dan fluor en gemakkelijk te hanteren. Stikstoftrifluoride wordt voornamelijk gebruikt als plasma-etsgas en reinigingsmiddel voor reactiekamers en is geschikt voor de productie van halfgeleiderchips, platte beeldschermen, optische vezels, fotovoltaïsche cellen, enz.
Vergeleken met andere fluorhoudende elektronengassen,stikstoftrifluorideHet heeft als voordelen een snelle reactie en een hoge efficiëntie. Vooral bij het etsen van siliciumhoudende materialen zoals siliciumnitride heeft het een hoge etssnelheid en selectiviteit, waardoor er geen residu achterblijft op het oppervlak van het geëtste object. Het is ook een zeer goed reinigingsmiddel en vervuilt het oppervlak niet, wat voldoet aan de eisen van het verwerkingsproces.
Geplaatst op: 14 september 2024
