Koolstoftetrafluoride (CF4)

Technische parameters

Koolstoftetrafluoride is een gehalogeneerde koolwaterstof met de chemische formule CF4.Het kan worden beschouwd als een gehalogeneerde koolwaterstof, gehalogeneerd methaan, perfluorkoolstof of als een anorganische verbinding.Koolstoftetrafluoride is een kleurloos en geurloos gas, onoplosbaar in water, oplosbaar in benzeen en chloroform.Stabiel onder normale temperatuur en druk, vermijd sterke oxidanten, ontvlambare of brandbare materialen.Niet-brandbaar gas, de interne druk van de container zal toenemen bij blootstelling aan hoge temperaturen en er bestaat gevaar voor barsten en explosies.Het is chemisch stabiel en niet brandbaar.Alleen vloeibaar ammoniak-natriummetaalreagens kan bij kamertemperatuur werken.Koolstoftetrafluoride is een gas dat het broeikaseffect veroorzaakt.Het is zeer stabiel, kan lang in de atmosfeer blijven en is een zeer krachtig broeikasgas.Koolstoftetrafluoride wordt gebruikt in het plasma-etsproces van verschillende geïntegreerde schakelingen.Het wordt ook gebruikt als lasergas en wordt gebruikt in koelmiddelen bij lage temperatuur, oplosmiddelen, smeermiddelen, isolatiematerialen en koelvloeistoffen voor infrarooddetectoren.Het is het meest gebruikte plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie.Het is een mengsel van tetrafluormethaan zeer zuiver gas en tetrafluormethaan zeer zuiver gas en zeer zuivere zuurstof.Het kan op grote schaal worden gebruikt in silicium, siliciumdioxide, siliciumnitride en fosfosilicaatglas.Het etsen van dunne-filmmaterialen zoals wolfraam en wolfraam wordt ook veel gebruikt bij de oppervlaktereiniging van elektronische apparaten, de productie van zonnecellen, lasertechnologie, koeling bij lage temperatuur, lekinspectie en wasmiddel bij de productie van gedrukte schakelingen.Gebruikt als koelmiddel bij lage temperatuur en plasmadroge etstechnologie voor geïntegreerde schakelingen.Voorzorgsmaatregelen voor opslag: Opslaan in een koel, geventileerd niet-brandbaar gasmagazijn.Verwijderd houden van vuur en warmtebronnen.De opslagtemperatuur mag niet hoger zijn dan 30°C.Het moet gescheiden worden opgeslagen van licht (brandbare) brandbare stoffen en oxidatiemiddelen, en gemengde opslag vermijden.De opslagruimte moet zijn uitgerust met noodbehandelingsapparatuur voor lekkage.

Sollicitatie:

① Koelmiddel:

Tetrafluormethaan wordt soms gebruikt als koelmiddel bij lage temperatuur.

② etsen:

Het wordt alleen of in combinatie met zuurstof gebruikt bij microfabricage van elektronica als plasma-etsmiddel voor silicium, siliciumdioxide en siliciumnitride.

Normaal pakket:

Voordeel:

①Hoge zuiverheid, nieuwste faciliteit;

②ISO-certificaatfabrikant;

③Snelle levering;

④On-line analysesysteem voor kwaliteitscontrole in elke stap;

⑤Hoge vereisten en nauwgezet proces voor het hanteren van de cilinder vóór het vullen;