Elektronischspeciale gassenZe vormen een belangrijke tak van speciale gassen. Ze zijn doordringen vrijwel elke schakel in de halfgeleiderproductie en zijn onmisbare grondstoffen voor de productie van elektronische producten zoals ultragrootschalige geïntegreerde schakelingen, platte beeldschermen en zonnecellen.

In de halfgeleidertechnologie worden fluorhoudende gassen veelvuldig gebruikt. Momenteel vertegenwoordigen fluorhoudende gassen ongeveer 30% van de wereldwijde markt voor elektronische gassen. Fluorhoudende gassen vormen een belangrijk onderdeel van speciale elektronische gassen in de elektronische informatietechnologie. Ze worden voornamelijk gebruikt als reinigings- en etsmiddelen, maar kunnen ook dienen als doteringsmiddelen, filmvormende materialen, enzovoort. In dit artikel neemt de auteur u mee in een kennismaking met de meest voorkomende fluorhoudende gassen.

De volgende fluorhoudende gassen worden veelvuldig gebruikt.

Stikstoftrifluoride (NF3): Een gas dat wordt gebruikt voor het reinigen en verwijderen van afzettingen, meestal voor het reinigen van reactiekamers en oppervlakken van apparatuur.

Zwavelhexafluoride (SF6): Een fluoreringsmiddel dat wordt gebruikt bij oxideafzettingsprocessen en als isolatiegas voor het vullen van isolatiematerialen.

Waterstoffluoride (HF): Wordt gebruikt om oxiden van het siliciumoppervlak te verwijderen en als etsmiddel voor het etsen van silicium en andere materialen.

Stikstoffluoride (NF): Wordt gebruikt voor het etsen van materialen zoals siliciumnitride (SiN) en aluminiumnitride (AlN).

Trifluormethaan (CHF3) entetrafluormethaan (CF4)Wordt gebruikt voor het etsen van fluorhoudende materialen zoals siliciumfluoride en aluminiumfluoride.

Fluorhoudende gassen brengen echter bepaalde gevaren met zich mee, waaronder toxiciteit, corrosieve werking en ontvlambaarheid.

Toxiciteit

Sommige fluorhoudende gassen zijn giftig, zoals waterstoffluoride (HF), waarvan de dampen zeer irriterend zijn voor de huid en de luchtwegen en schadelijk voor de menselijke gezondheid.

Corrosiviteit

Waterstoffluoride en sommige andere fluoriden zijn zeer corrosief en kunnen ernstige schade toebrengen aan de huid, ogen en luchtwegen.

Ontvlambaarheid

Sommige fluoriden zijn brandbaar en reageren met zuurstof of water in de lucht, waarbij intense hitte en giftige gassen vrijkomen, wat brand of een explosie kan veroorzaken.

Gevaar door hoge druk

Sommige gefluoreerde gassen zijn explosief onder hoge druk en vereisen speciale voorzorgsmaatregelen bij gebruik en opslag.

Impact op het milieu

Fluorhoudende gassen hebben een lange levensduur in de atmosfeer en hoge GWP-waarden (Global Warming Potential), wat een destructief effect heeft op de ozonlaag en kan leiden tot opwarming van de aarde en milieuvervuiling.

De toepassing van gassen in opkomende sectoren zoals de elektronica neemt steeds verder toe, wat leidt tot een grote nieuwe vraag naar industriële gassen. Gezien de aanzienlijke nieuwe productiecapaciteit van belangrijke elektronische componenten zoals halfgeleiders en beeldschermen in China in de komende jaren, en de sterke vraag naar importvervanging van elektronische chemische materialen, zal de binnenlandse elektronische gasindustrie een sterke groei doormaken.