Elektronischspeciale gassenzijn een belangrijke tak van speciale gassen. Ze dringen door in bijna elke schakel van de halfgeleiderproductie en zijn onmisbare grondstoffen voor de productie van elektronische industrieën zoals ultragrootschalige geïntegreerde schakelingen, platte beeldschermen en zonnecellen.

In de halfgeleidertechnologie worden fluorhoudende gassen veel gebruikt. Momenteel vertegenwoordigen fluorhoudende elektronische gassen op de mondiale markt voor elektronisch gas ongeveer 30% van het totaal. Fluorhoudende elektronische gassen vormen een belangrijk onderdeel van speciale elektronische gassen op het gebied van elektronische informatiematerialen. Ze worden voornamelijk gebruikt als reinigings- en etsmiddel, maar kunnen ook worden gebruikt als doteermiddelen, filmvormende materialen, enz. In dit artikel neemt de auteur u mee om de veel voorkomende fluorhoudende gassen te begrijpen.

De volgende zijn algemeen gebruikte fluorhoudende gassen

Stikstoftrifluoride (NF3): Een gas dat wordt gebruikt voor het reinigen en verwijderen van afzettingen, meestal gebruikt voor het reinigen van reactiekamers en apparatuuroppervlakken.

Zwavelhexafluoride (SF6): Een fluoreringsmiddel dat wordt gebruikt bij oxideafzettingsprocessen en als isolatiegas voor het vullen van isolatiemedia.

Waterstoffluoride (HF): Wordt gebruikt om oxiden van het siliciumoppervlak te verwijderen en als etsmiddel voor het etsen van silicium en andere materialen.

Stikstoffluoride (NF): Wordt gebruikt voor het etsen van materialen zoals siliciumnitride (SiN) en aluminiumnitride (AlN).

Trifluormethaan (CHF3) entetrafluormethaan (CF4): Wordt gebruikt voor het etsen van fluoridematerialen zoals siliciumfluoride en aluminiumfluoride.

Fluorhoudende gassen brengen echter bepaalde gevaren met zich mee, waaronder toxiciteit, corrosiviteit en ontvlambaarheid.

Toxiciteit

Sommige fluorhoudende gassen zijn giftig, zoals waterstoffluoride (HF), waarvan de damp zeer irriterend is voor de huid en de luchtwegen en schadelijk is voor de menselijke gezondheid.

Corrosiviteit

Waterstoffluoride en sommige fluoriden zijn zeer bijtend en kunnen ernstige schade aan de huid, ogen en luchtwegen veroorzaken.

Ontvlambaarheid

Sommige fluoriden zijn ontvlambaar en reageren met zuurstof of water in de lucht, waarbij intense hitte en giftige gassen vrijkomen, die brand of explosies kunnen veroorzaken.

Gevaar door hoge druk

Sommige gefluoreerde gassen zijn explosief onder hoge druk en vereisen speciale zorg bij gebruik en opslag.

Impact op het milieu

Fluorhoudende gassen hebben een hoge atmosferische levensduur en GWP-waarden, die een destructief effect hebben op de ozonlaag in de atmosfeer en tot opwarming van de aarde en milieuvervuiling kunnen leiden.

De toepassing van gassen op opkomende gebieden zoals de elektronica blijft zich verdiepen, waardoor er een grote nieuwe vraag naar industriële gassen ontstaat. Gebaseerd op de grote hoeveelheid nieuwe productiecapaciteit van belangrijke elektronische componenten zoals halfgeleiders en beeldschermpanelen op het vasteland van China in de komende jaren, evenals de sterke vraag naar importvervanging van elektronische chemische materialen, zal de binnenlandse elektronische gasindustrie de een hoge groeisnelheid.