ElektronischSpeciale gassenzijn een belangrijke tak van speciale gassen. Ze dringen bijna elke link van de productie van halfgeleiders binnen en zijn onmisbare grondstoffen voor de productie van elektronische industrieën zoals geïntegreerde circuits op ultra-grootschaal, flat-panel display-apparaten en zonnecellen.

In halfgeleidertechnologie worden fluor-bevattende gassen veel gebruikt. Momenteel zijn fluor-bevattende elektronische gassen op de wereldwijde elektronische gasmarkt goed voor ongeveer 30% van het totaal. Fluor-bevattende elektronische gassen zijn een belangrijk onderdeel van speciale elektronische gassen op het gebied van elektronische informatiematerialen. Ze worden voornamelijk gebruikt als schoonmaakmiddelen en etsmiddelen en kunnen ook worden gebruikt als doteermiddelen, filmvormende materialen, enz. In dit artikel zal de auteur u meenemen om de gemeenschappelijke fluor-bevattende gassen te begrijpen.

De volgende worden vaak gebruikt fluor-bevattende gassen

Stikstof trifluoride (NF3): een gas dat wordt gebruikt voor het reinigen en verwijderen van afzettingen, meestal gebruikt voor reactiereactiekamers en apparatuuroppervlakken.

Zwavel hexafluoride (SF6): Een fluorinerend middel dat wordt gebruikt bij oxide -depositieprocessen en als een isolerend gas voor het vullen van isolatiemedia.

Waterstoffluoride (HF): gebruikt om oxiden uit het siliciumoppervlak te verwijderen en als een etchant voor het etsen van silicium en andere materialen.

Stikstoffluoride (NF): gebruikt om materialen zoals siliciumnitride (SIN) en aluminiumnitride (ALN) te etsen.

Trifluoromethaan (CHF3) entetrluoromethaan (CF4): Gebruikt om fluoridematerialen zoals siliciumfluoride en aluminiumfluoride te etsen.

Fluor-bevattende gassen hebben echter bepaalde gevaren, waaronder toxiciteit, corrosiviteit en ontvlambaarheid.

Toxiciteit

Sommige fluor-bevattende gassen zijn giftig, zoals waterstoffluoride (HF), waarvan de damp zeer irriterend is voor de huid en de luchtwegen en schadelijk voor de menselijke gezondheid.

Corrosiviteit

Waterstoffluoride en sommige fluoriden zijn zeer corrosief en kunnen ernstige schade aan de huid, ogen en luchtwegen veroorzaken.

Ontvlambaarheid

Sommige fluoriden zijn ontvlambaar en reageren met zuurstof of water in de lucht om intense warmte en giftige gassen af ​​te geven, wat brand of explosie kan veroorzaken.

Hogedruk gevaar

Sommige gefluoreerde gassen zijn explosief onder hoge druk en vereisen speciale zorg bij gebruik en opgeslagen.

Impact op het milieu

Fluor-bevattende gassen hebben een hoge atmosferische levensduur en GWP-waarden, die een destructief effect hebben op de atmosferische ozonlaag en kunnen de opwarming van de aarde en milieuvervuiling veroorzaken.

De toepassing van gassen in opkomende velden zoals elektronica blijft dieper worden, waardoor een grote hoeveelheid nieuwe vraag naar industriële gassen wordt gebracht. Gebaseerd op de grote hoeveelheid nieuwe productiecapaciteit van belangrijke elektronische componenten zoals halfgeleiders en displaypanelen op het vasteland van China in de komende jaren, evenals de sterke vraag naar importvervanging van elektronische chemische materialen, zal de binnenlandse elektronische gasindustrie een hoge groeisnelheid inluiden.