Wat iskoolstoftetrafluoride? Wat is het nut?
Koolstoftetrafluoride, ook bekend als tetrafluormethaan, wordt beschouwd als een anorganische verbinding. Het wordt gebruikt in het plasma-etsen van diverse geïntegreerde schakelingen en ook als lasergas en koelmiddel. Het is relatief stabiel bij normale temperatuur en druk, maar contact met sterke oxidatiemiddelen en ontvlambare of brandbare materialen moet worden vermeden. Koolstoftetrafluoride is een niet-brandbaar gas. Bij hoge temperaturen zal de interne druk in de container toenemen, met scheur- en explosiegevaar tot gevolg. Normaal gesproken reageert het alleen bij kamertemperatuur met vloeibare ammoniak-natriummetaalreagens.
Koolstoftetrafluorideis momenteel het meest gebruikte plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie. Het kan op grote schaal worden gebruikt bij het etsen van silicium, siliciumdioxide, fosfosilicaatglas en andere dunne-filmmaterialen, het reinigen van het oppervlak van elektronische apparaten, de productie van zonnecellen, lasertechnologie, gasfase-isolatie, lagetemperatuurkoeling, lekdetectiemiddelen en detergenten bij de productie van printplaten.
Plaatsingstijd: 1 november 2021
