Wat is koolstoftetrafluoride? Waarvoor wordt het gebruikt?

Wat iskoolstoftetrafluorideWat is het nut ervan?

KoolstoftetrafluorideKoolstoftetrafluoride, ook bekend als tetrafluormethaan, wordt beschouwd als een anorganische verbinding. Het wordt gebruikt bij het plasma-etsen van diverse geïntegreerde schakelingen en ook als lasergas en koelmiddel. Het is relatief stabiel bij normale temperatuur en druk, maar contact met sterke oxidanten, ontvlambare of brandbare materialen moet worden vermeden. Koolstoftetrafluoride is een niet-brandbaar gas. Bij blootstelling aan hoge temperaturen zal de interne druk in de container toenemen, waardoor er gevaar bestaat voor scheuren en explosies. Het kan doorgaans alleen reageren met een vloeibaar ammoniak-natriummetaalreagens bij kamertemperatuur.

KoolstoftetrafluoridePlasma is momenteel het meest gebruikte plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie. Het kan breed worden ingezet bij het etsen van silicium, siliciumdioxide, fosfosilicaatglas en andere dunne filmmaterialen, het reinigen van oppervlakken van elektronische apparaten, de productie van zonnecellen, lasertechnologie, gasfase-isolatie, koeling bij lage temperaturen, lekdetectie en als reinigingsmiddel bij de productie van printplaten.