Onderdeel | 99,9999% | Eenheid |
Zuurstof (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Stikstof | ≤0,1 | ppmV |
Waterstof | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
chloorsilanen | ≤0,1 | ppmV |
disiloxaan | ≤0,1 | ppmV |
Disilaan | ≤0,1 | ppmV |
Vocht (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silaan is een verbinding van silicium en waterstof.Het is een algemene term voor een reeks verbindingen, waaronder monosilaan (SiH4), disilaan (Si2H6) en enkele silicium-waterstofverbindingen van een hoger niveau.Onder hen is monosilaan de meest voorkomende, soms kortweg silaan genoemd.Silaan is een kleurloos gas met een walgelijke geur van knoflook.Oplosbaar in water, bijna onoplosbaar in ethanol, ether, benzeen, chloroform, siliciumchloroform en siliciumtetrachloride.De chemische eigenschappen van silanen zijn veel actiever dan alkanen en worden gemakkelijk geoxideerd.Zelfontbranding kan optreden bij contact met lucht.Het reageert niet met stikstof onder 25°C en reageert niet met koolwaterstofverbindingen bij kamertemperatuur.Brand en explosie van silaan zijn het resultaat van reactie met zuurstof.Silaan is extreem gevoelig voor zuurstof en lucht.Silaan zal met een bepaalde concentratie ook explosief reageren met zuurstof bij een temperatuur van -180°C.Silaan is het belangrijkste speciale gas geworden dat wordt gebruikt in halfgeleidermicro-elektronicaprocessen en wordt gebruikt bij de bereiding van verschillende micro-elektronische films, waaronder monokristallijne films, microkristallijne, polykristallijne, siliciumoxide, siliciumnitride en metaalsiliciden.De micro-elektronische toepassingen van silaan zijn nog volop in ontwikkeling: epitaxie bij lage temperatuur, selectieve epitaxie en hetero-epitaxiale epitaxie.Niet alleen voor siliciumcomponenten en geïntegreerde siliciumschakelingen, maar ook voor samengestelde halfgeleidercomponenten (galliumarsenide, siliciumcarbide, enz.).Het heeft ook toepassingen bij de bereiding van kwantumputmaterialen met superrooster.Men kan zeggen dat silaan tegenwoordig in bijna alle geavanceerde productielijnen voor geïntegreerde schakelingen wordt gebruikt.De toepassing van silaan als een siliciumbevattende film en coating heeft zich uitgebreid van de traditionele micro-elektronica-industrie naar verschillende gebieden zoals staal, machines, chemicaliën en optica.Een andere mogelijke toepassing van silaan is de fabricage van hoogwaardige keramische motoronderdelen, vooral het gebruik van silaan om silicide (Si3N4, SiC, etc.) micropoedertechnologie te vervaardigen heeft steeds meer aandacht getrokken.
①Elektronisch:
Silaan wordt aangebracht op polykristallijne siliciumlagen op siliciumwafels bij de productie van halfgeleiders en afdichtingsmiddelen.
②Zonne-energie:
Silaan wordt gebruikt bij de productie van fotovoltaïsche zonnepanelen.
③Industrieel:
Het wordt gebruikt in energiebesparend groen glas en toegepast op het dunne-filmproces voor dampafzetting.
Product | Silaan SiH4 Vloeistof | |
Pakketgrootte | Cilinder van 47 liter | Y-440L |
Vulling Netto Gewicht/Cyl | 10 kg | 125 kg |
AANTAL geladen in 20'Container | 250 cilinders | 8Cyl |
Totale netto gewicht | 2,5 ton | 1 ton |
Tarragewicht cilinder | 52 kg | 680 kg |
Ventiel | CGA632/DISS632 |
①Meer dan tien jaar op de markt;
②ISO-certificaatfabrikant;
③Snelle levering;
④Stable grondstofbron;
⑤On-line analysesysteem voor kwaliteitscontrole in elke stap;
⑥ Hoge eisen en nauwgezet proces voor het hanteren van de cilinder vóór het vullen;
⑦ Zuiverheid: elektronische kwaliteit met hoge zuiverheid;
⑧Usage: materialen voor zonnecellen;het maken van zeer zuiver polysilicium, siliciumoxide en optische vezels;productie van gekleurd glas.