Koolstoftetrafluoride (CF4)

Technische parameters

Tetrafluorkoolstof is een gehalogeneerde koolwaterstof met de chemische formule CF4. Het kan worden beschouwd als een gehalogeneerde koolwaterstof, gehalogeneerd methaan, perfluorkoolstof of als een anorganische verbinding. Koolstoftetrafluoride is een kleurloos en geurloos gas, onoplosbaar in water, oplosbaar in benzeen en chloroform. Stabiel onder normale temperatuur en druk, vermijd sterke oxidatiemiddelen, ontvlambare of brandbare materialen. Niet-brandbaar gas; de interne druk van de container zal toenemen bij blootstelling aan hoge hitte, en er bestaat gevaar voor barsten en explosies. Het is chemisch stabiel en niet-ontvlambaar. Alleen vloeibaar ammoniak-natriummetaalreagens kan bij kamertemperatuur werken. Koolstoftetrafluoride is een gas dat het broeikaseffect veroorzaakt. Het is zeer stabiel, kan lange tijd in de atmosfeer blijven en is een zeer krachtig broeikasgas. Koolstoftetrafluoride wordt gebruikt in het plasma-etsproces van verschillende geïntegreerde schakelingen. Het wordt ook gebruikt als lasergas en wordt gebruikt in koelmiddelen bij lage temperaturen, oplosmiddelen, smeermiddelen, isolatiematerialen en koelmiddelen voor infrarooddetectoren. Het is het meest gebruikte plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie. Het is een mengsel van hoogzuiver tetrafluormethaangas en hoogzuiver tetrafluormethaangas en zeer zuivere zuurstof. Het kan op grote schaal worden gebruikt in silicium, siliciumdioxide, siliciumnitride en fosfosilicaatglas. Het etsen van dunne-filmmaterialen zoals wolfraam en wolfraam wordt ook veel gebruikt bij de oppervlaktereiniging van elektronische apparaten, de productie van zonnecellen, lasertechnologie, koeling bij lage temperaturen, lekinspectie en wasmiddelen bij de productie van gedrukte schakelingen. Gebruikt als koelmiddel bij lage temperatuur en plasma-droogetstechnologie voor geïntegreerde schakelingen. Voorzorgsmaatregelen bij opslag: Opslaan in een koel, geventileerd pakhuis voor niet-brandbaar gas. Verwijderd houden van vuur en warmtebronnen. De opslagtemperatuur mag niet hoger zijn dan 30°C. Het moet gescheiden van gemakkelijk (brandbare) brandbare stoffen en oxidatiemiddelen worden opgeslagen en gemengde opslag worden vermeden. De opslagruimte moet zijn uitgerust met apparatuur voor noodbehandeling bij lekkage.

Sollicitatie:

① Koelmiddel:

Tetrafluormethaan wordt soms gebruikt als koelmiddel bij lage temperaturen.

② Etsen:

Het wordt alleen of in combinatie met zuurstof gebruikt bij de microfabricage van elektronica als plasma-etsmiddel voor silicium, siliciumdioxide en siliciumnitride.

Normaal pakket:

Voordeel:

①Hoge zuiverheid, nieuwste faciliteit;

②ISO-certificaatfabrikant;

③Snelle levering;

④ Online analysesysteem voor kwaliteitscontrole bij elke stap;

⑤Hoge eisen en nauwgezet proces voor het hanteren van de cilinder vóór het vullen;