Onderdeel | 99,9999% | Eenheid |
Zuurstof (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Stikstof | ≤0,1 | ppmV |
Waterstof | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Chlorosilanen | ≤0,1 | ppmV |
Disiloxaan | ≤0,1 | ppmV |
Disilaan | ≤0,1 | ppmV |
Vocht (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silaan is een verbinding van silicium en waterstof. Het is een algemene term voor een reeks verbindingen, waaronder monosilaan (SiH4), disilaan (Si2H6) en enkele silicium-waterstofverbindingen van een hoger niveau. Onder hen is monosilaan de meest voorkomende, ook wel kortweg silaan genoemd. Silaan is een kleurloos gas met een walgelijke knoflookgeur. Oplosbaar in water, vrijwel onoplosbaar in ethanol, ether, benzeen, chloroform, siliciumchloroform en siliciumtetrachloride. De chemische eigenschappen van silanen zijn veel actiever dan alkanen en worden gemakkelijk geoxideerd. Bij contact met lucht kan spontane ontbranding optreden. Het reageert niet met stikstof onder de 25°C en reageert niet met koolwaterstofverbindingen bij kamertemperatuur. Brand en explosie van silaan zijn het resultaat van reactie met zuurstof. Silaan is extreem gevoelig voor zuurstof en lucht. Silaan met een bepaalde concentratie reageert ook explosief met zuurstof bij een temperatuur van -180°C. Silaan is het belangrijkste speciale gas geworden dat wordt gebruikt in micro-elektronische halfgeleiderprocessen en wordt gebruikt bij de bereiding van verschillende micro-elektronische films, waaronder monokristallijne films, microkristallijne, polykristallijne films, siliciumoxide, siliciumnitride en metaalsiliciden. De micro-elektronische toepassingen van silaan ontwikkelen zich nog steeds diepgaand: epitaxie bij lage temperatuur, selectieve epitaxie en hetero-epitaxiale epitaxie. Niet alleen voor siliciumapparaten en geïntegreerde schakelingen van silicium, maar ook voor samengestelde halfgeleiderapparaten (galliumarsenide, siliciumcarbide, enz.). Het heeft ook toepassingen bij de bereiding van superrooster-kwantumputmaterialen. Er kan worden gezegd dat silaan tegenwoordig in bijna alle geavanceerde productielijnen voor geïntegreerde schakelingen wordt gebruikt. De toepassing van silaan als siliciumhoudende film en coating heeft zich uitgebreid van de traditionele micro-elektronica-industrie naar verschillende gebieden zoals staal, machines, chemicaliën en optica. Een andere mogelijke toepassing van silaan is de vervaardiging van hoogwaardige keramische motoronderdelen, vooral het gebruik van silaan voor de vervaardiging van silicide (Si3N4, SiC, enz.) Micropoedertechnologie heeft steeds meer aandacht getrokken.
①Elektronisch:
Silaan wordt aangebracht op polykristallijne siliciumlagen op siliciumwafels bij de productie van halfgeleiders en afdichtingsmiddelen.
②Zonne-energie:
Silaan wordt gebruikt bij de productie van fotovoltaïsche zonnepanelen.
③ Industrieel:
Het wordt gebruikt in energiebesparend groen glas en toegepast bij het opdampen van dunne-filmprocessen.
Product | Silaan SiH4 vloeistof | |
Pakketgrootte | 47 liter cilinder | Y-440L |
Vulling Nettogewicht/Cyl | 10 kg | 125 kg |
AANTAL Geladen in 20'Container | 250 cilinders | 8Cyl |
Totaal nettogewicht | 2,5 ton | 1 ton |
Cilinder tarragewicht | 52 kg | 680 kg |
Ventiel | CGA632/DISS632 |
①Meer dan tien jaar op de markt;
②ISO-certificaatfabrikant;
③Snelle levering;
④ Stabiele grondstofbron;
⑤ Online analysesysteem voor kwaliteitscontrole bij elke stap;
⑥Hoge eisen en nauwgezet proces voor het hanteren van de cilinder vóór het vullen;
⑦ Zuiverheid: elektronische kwaliteit met hoge zuiverheid;
⑧Gebruik: zonnecelmaterialen; het maken van zeer zuiver polysilicium, siliciumoxide en optische vezels; productie van gekleurd glas.